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Free3D.ZTxTy.150，壓電三軸并聯位移臺，三自由度，ZTT移動；由納米級驅動單元實現的三自由度并聯結構，有效降低累積誤差；多軸姿態(tài)同時調節(jié)、結構穩(wěn)定、剛性高。
Free6D.3-2.150.G2，壓電六軸并聯位移臺，六自由度，兼容高真空；控制方式：各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現閉環(huán)控制；通過專用軟件，實現對六軸并聯運動的解算，分配到各驅動單元模塊，實現六軸空間姿態(tài)的同時調節(jié)。
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